城隍，起源于古代的水（隍）庸（城）的祭祀，为《周宫》八神之一。“城”原指挖土筑的高墙，“隍”原指没有水的护城壕。古人造城是为了保护城内百姓的安全，所以修了高大的城墙、城楼、城门以及壕城、护城河。他们认为与人们的生活、生产安全密切相关的事物，都有神在，于是城和隍被神化为城市的保护神。道教把它纳入自己的神系，称它是剪除凶恶、保国护邦之神，并管领阴间的亡魂。
早在周朝，每到收获之后，到了除夕，人们都要腊祭八神，其中第七神就是水庸神，水即隍，庸即城，水庸神即城隍神。
自三国开始，民间就有了城隍祠，记载最早的城隍祠便是公元239年孙权在安徽芜湖建立的。到隋朝时，已有了用动物祭祀城隍的风俗。但当时的城隍神只是一个抽象的神，并没有具体的姓名。
唐朝时，信仰城隍已相当普遍，很多文人雅士，如杜甫、韩愈、张九龄、杜牧、李商隐等人都撰有祭祀城隍的诗文。因为在当时的封建专制统治下，人们都希望那些当官的能为民做主，体恤他们的疾苦，因此，他们对那些为人民做好事的官员非常敬重，在他们死后，便把他们做为城隍神供奉。如苏州祀春申君，杭州祀文天祥，上海祀秦裕伯，桂林祀苏缄等。
到了明朝朱元璋做皇帝时，他对城隍大感兴趣，因为他是在土地庙里出生的，因而对土地神的上司城隍神便格外敬重，在明洪武二年（1369年），朱元璋下诏加封天下城隍，并严格规定了城隍的等级，共分为都、府、州、县四级。于是一下子全国各地的城隍庙便如雨后春笋般修了起来。朱元璋说，“联立城隍神，使人知畏，人有所畏，则不敢妄为”。
城隍在明清以后，成为一个神的官职，而不是一尊神明。都城隍为省级行政区所奉祀，相当于阴间的巡抚。府城隍相当于阴间的知府，县城隍相当于阴间的县令。各地的城隍由不同的人出任，甚至是由当地的老百姓自行选出，选择的标准大抵是“正直聪明”的历史人物。
古代教人做官的黄六鸿《福惠全书》写道，新县官莅境“于上任前一日，或前三日至城隍庙斋宿”，以便在梦中请教境内是否有悬而未决的冤案。
